دانلود فایل منبع Handbook of plasma processing technology: fundamentals, etching, deposition, and surface interactions
. این منبع (کتاب) توسط Stephen M. Rossnagel, William D. Westwood, Jerome J. Haber نوشته شده و
ویرایش جلد از انتشارات
Noyes Publications است و منتشر شده در سال 1990 می باشد