Photonenaktivierte Reinigungs-und Oxidationsprozesse für die Nanoelektronik

• Author(s): Andreas Aßmuth,
• Publisher: Cuvillier Verlag
• Pages: 148
• ISBN_10: 3736923864
  ISBN_13: 9783736923867
  
• Language: de
• Categories: Science / Physics / General ,

Description:... Diese Arbeit beschäftigt sich mit photonenaktivierten Reinigungs- und Oxidationsprozessen für die Nanoelektronik, bei denen ein thermisches Budget von T = (700 . . . 750) °C nicht überschritten wird. Dieser Temperaturbereich stellt eine kritische Obergrenze dar, ab der die Diffusion von Dotierstoffatomen sowie der mechanische Stress zwischen Schichten eine Herstellung von siliziumbasierten Halbleiterbauelementen mit Strukturgrößen