Description:... In der vorliegenden Arbeit wurden die Herstellung von metallischen Mikrosieben und die Charakterisierung der Stromung durch Mikrosiebe untersucht. Neue Herstellverfahren aus dem Bereich der Mikrogalvanik und Laserablation wurden erarbeitet, um Mikrosiebe mit einer definierten Porengeometrie zu erzeugen. Zudem wurde ein neues Mikrosiebdurchflussmodell fur den Fall langsamer, partikelfreier Stromungen entwickelt, das die Einflusse der Mikrosiebgeometrie und mikroskaliger Phanomene berucksichtigt. Um die Eignung der Mikrosiebfiltration fur industriell relevante Anwendungsgebiete zu uberprufen, wurden Prozessstrome aus industriellen Applikationen mikrosieb-filtriert. Verschiedene Verfahren zur Vermeidung der Deckschichtbildung wurden erfolgreich eingesetzt.
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